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词条 多晶硅栅
释义
多晶硅栅
多晶硅栅  用多晶硅制作的栅极。常用于互补型金属-氧化物-半导体电路(CMOS电路)中。多晶硅可以与作为栅极衬底的氧化层晶格匹配,且界面稳定性好,故多用作栅极材料。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/2/8 7:58:27