“多源蒸镀”的意思、由来-百科全书

词条	多源蒸镀
释义	多源蒸镀材料科学卷多源蒸镀　　在制备由两元素以上构成的合金或化合物膜时，将组成元素分别装入各自的蒸发源中，独立控制各蒸发源的蒸发速率，以获得满足成分要求的合成膜的真空蒸镀工艺。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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