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词条 多源蒸镀
释义
多源蒸镀
多源蒸镀  在制备由两元素以上构成的合金或化合物膜时,将组成元素分别装入各自的蒸发源中,独立控制各蒸发源的蒸发速率,以获得满足成分要求的合成膜的真空蒸镀工艺。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/2/12 22:19:41