出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 氮化铝上硅材料 |
| 释义 | 氮化铝上硅材料 氮化铝上硅材料 英语缩写SOAN。以氮化铝为绝缘埋层的绝缘体上硅材料。利用氮化铝材料热导率高、电阻率大、击穿场强高、热膨胀系数与硅相近等优异性能，用氮化铝取代二氧化硅用作绝缘埋层，以克服常规绝缘体上硅材料结构中由于二氧化硅绝缘埋层的低热导率而存在的自加热问题。使绝缘体上硅材料的应用扩展到高温、大功率电路等方面。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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