“本征吸除”的意思、由来-百科全书

词条	本征吸除
释义	本征吸除材料科学卷本征吸除　　亦称“内吸除”。利用硅片自身的因素引起的吸除效应。如采用热处理工艺在硅片内部形成高密度的氧沉淀，吸除硅片有害杂质以获得表面洁净区。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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