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本征吸除
释义
本征吸除
材料科学卷
本征吸除
亦称“内吸除”。利用硅片自身的因素引起的吸除效应。如采用热处理工艺在硅片内部形成高密度的氧沉淀,吸除硅片有害杂质以获得表面洁净区。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/7/7 3:42:23