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通孔
释义
通孔
信息科学卷
通孔
在两层互连金属线之间的层间膜内刻蚀出的一系列连接孔。孔内填入用于两层金属线间的互连金属,通过这些金属线把成千上万的晶体管连成具有一定功能的器件回路。随着半导体制造技术发展到更先进的深亚微米技术,通孔的尺寸也随着器件设计尺寸逐步缩小。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2026/6/22 20:18:29