出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 等离子体增强化学气相沉积 |
| 释义 | 等离子体增强化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 通过反应气体分子激活化学反应进行气相沉积的方法。在高频电场或直流电场作用下，稀释的反应物气体被电离，产生电子、离子、激活分子和原子组成的等离子体，衬底浸没在等离子体中，吸附在衬底表面的反应物粒子受到高能离子流轰击，结合键断裂而成为活性粒子，在表面进行化学反应形成薄膜。应用于低温外延生长硅、电子器件中氧化物和氮化物薄膜的沉积、金属的表面涂层等。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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