“等离子刻蚀”的意思、由来-百科全书

词条	等离子刻蚀
释义	等离子刻蚀材料科学卷等离子刻蚀　　一种采用等离子的干法蚀刻技术。通常使用较高压力及较小的射频功率，芯片表面层原子或分子与等离子气氛中的活性原子接触并发生反应，形成气态生成物而离开晶面造成蚀刻。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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