“等离子刻蚀”的意思、由来-百科全书

词条	等离子刻蚀
释义	等离子刻蚀材料科学卷等离子刻蚀　　一种采用等离子的干法蚀刻技术。通常使用较高压力及较小的射频功率，芯片表面层原子或分子与等离子气氛中的活性原子接触并发生反应，形成气态生成物而离开晶面造成蚀刻。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
随便看	畴类畷畸畸人畸变畸变能畸变能理论畸孤畸形畸形学畸形茧畸形足畸羡畸胎畸胎瘤畸轻畸重畸高/畸低策略畹畹町畺畺良耶舍畻畽畾畾畾

百科全书收录258893条中英文百科知识，基本涵盖了大多数领域的百科知识，是一部内容开放、自由的电子版百科全书。