“二极溅射”的意思、由来-百科全书

词条	二极溅射
释义	二极溅射材料科学卷二极溅射　　由膜料制成的溅射靶材为阴极，工件为阳极构成真空镀膜室内的两电极，通电通气后利用气体的辉光放电、等离子体技术进行镀膜的方法。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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