出处：数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学
| 词条 | 二次离子质谱 |
| 释义 | 二次离子质谱 二次离子质谱 简称“SIMS”。分析固体表面元素成分的一种实验方法。在超高真空中,将一束具有一定能量的离子(称为“一次离子”)打到被分析的固体上,同固体表面原子碰撞后,可使之电离成离子而脱离固体表面,称为“二次离子”。用质谱仪测量这些二次离子的质量电荷比,就可确定固体表面所含原子的种类,从而确定其化学成分。如果将一次离子在样品上的束斑聚焦成直径只有几个微米的大小,就可探测固体表面微区中的成分,这种二次离子质谱仪器称“离子探针”。 出处：数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学 |
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