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籽晶层
释义
籽晶层
信息科学卷
籽晶层
用原子层沉积技术将籽晶一层一层镀在基底表面所形成的沉积层。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/21 1:27:00