出处：化工轻工纺织卷 • 无机非金属材料
| 词条 | 金刚石薄膜 |
| 释义 | 金刚石薄膜 金刚石薄膜 一种人工合成的薄膜状金刚石材料。具有金刚石的硬度及良好的导热性,紫外至红外波段良好的光学透明性和优良的化学稳定性。可以在常压下合成。通常以甲烷、乙炔等碳氢化合物为原料,用热灯丝裂解,微波等离子体气相沉积,或电子束、离子束轰击镀膜等技术在硅、碳化硅、碳化钨、氧化铝、石英玻璃、钼、钨、钽等各种基板上反应生长而成。已应用于硬质切削刀具、X射线窗口材料、贵重软质物质保护涂层等方面,在半导体、光学、航天航空、大规模集成电路等领域有广泛的应用前景。 出处：化工轻工纺织卷 • 无机非金属材料 金刚石薄膜 20世纪80年代中后期迅速发展的一种优良的人工合成材料。通常以甲烷、乙炔等碳氢化合物为原料,用热灯丝裂解、微波等离子体气相淀积、电子束离子束轰击镀膜等技术在硅、碳化硅、碳化钨、氧化铝、石英、玻璃、钼、钨、钽等各种基板上反应生长而成。它不仅具有金刚石的硬度,还有良好的导热性、良好的从紫外到红外的光学透明性和高度的化学稳定性。在半导体、光学、航天航空工业、大规模集成电路等领域有广泛的应用前景,已在硬质切削刀具、X射线窗口材料、贵重软质物质保护涂层等方面应用。 出处：数理化力学卷 • 物 理 • 固体物理学 金刚石薄膜 20世纪80年代中后期迅速发展的一种优良的人工制备材料。通常以甲烷、乙炔等碳氢化合物为原料，用热灯丝裂解、微波等离子体气相淀积、电子束离子束轰击镀膜等技术，在硅、碳化硅、碳化钨、氧化铝、石英、玻璃、钼、钨、钽等各种基板上反应生长而成。不仅具有金刚石的硬度，还有良好的导热性、良好的从紫外到红外的光学透明性和高度的化学稳定性。在半导体、光学、航天航空工业、大规模集成电路等领域有广泛的应用前景，已在硬质切削刀具、X射线窗口材料、贵重软质物质保护涂层等方面应用。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 宽带隙半导体材料 |
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