出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 金属有机化合物化学气相沉积 |
| 释义 | 金属有机化合物化学气相沉积 金属有机化合物化学气相沉积 用金属有机化合物热分解进行气相沉积的方法。将含有外延材料组分的金属有机化合物气体通过载气输运到反应室，在一定温度下进行外延生长。根据生长压力的不同又分为常压和低压两种。主要应用于化合物半导体薄膜材料的外延生长。由于其组分、界面控制精度高，广泛用于3～5族、2～6族元素化合物半导体超晶格量子阱等低维材料的生长。还可用于制备高温超导薄膜、氧化物铁电薄膜及其他金属薄膜，具有工艺可控、操作简便及适用于大规模生产等优点。缺点是所用原料易燃剧毒。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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