出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 金属硅化物 |
| 释义 | 金属硅化物 金属硅化物 金属与硅生成的化合物。常分成两大类：（1） 难熔金属硅化物，指周期表4、5、6族元素的硅化物，如硅化钛、硅化锆、硅化钽、硅化钨等；（2） 贵金属和近贵金属硅化物，如硅化钯、硅化铂、硅化钴等。其共同特点是：熔点高（大都在1500℃以上），最低共熔温度高（大都在1000℃以上）。电阻率低，硬度高。在大规模集成电路中用作金属栅、肖特基接触、欧姆接触等。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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