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层间介质
释义
层间介质
信息科学卷
层间介质
器件中不同的金属层之间的电绝缘层。充当两层导电金属或者相邻金属线条之间的隔离膜。通常采用介电常数为3.9~4.0的二氧化硅材料。硅上有源器件和第一层金属层之间的电绝缘层,称“第一层层间介质”或“金属前绝缘层”。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2026/6/10 7:26:05