“纳米压痕”的意思、由来-百科全书

词条	纳米压痕
释义	纳米压痕信息科学卷纳米压痕　　亦称“深度敏感压痕技术”。一种较简单的测试材料力学性质的方法。可在纳米尺度上测量材料的各种力学性质，如载荷-位移曲线、弹性模量、硬度、断裂韧性、应变硬化效应、黏弹性或蠕变行为等。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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