出处：数理化力学卷 • 力 学 • 固体力学
| 词条 | 纳米压痕法 |
| 释义 | 纳米压痕法 纳米压痕法 基于压深传感的压痕技术,通过连续记录的载荷-位移加卸载曲线,可推定出材料的弹性模量、硬度、屈服应力、幂次律蠕变指数的技术。纳米压痕实验设备的载荷控制精度已经达到纳牛量级,位移精度达到0.1纳米,可以精确地完成量程为数十纳米的压痕实验,形成了纳米压痕测量技术。可在极浅深度下测量硬度。广泛用于测量微米或纳米晶粒材料及薄膜的力学性能,还可测量材料表面的残余应力、复合材料的界面强度、晶界附近的硬度变化、半导体材料(特别是硅)的位错形态等。 出处：数理化力学卷 • 力 学 • 固体力学 |
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