出处：信息科学卷 • 微电子 • 集成电路技术
| 词条 | 纳米电子学 |
| 释义 | 纳米电子学 纳米电子学 以量子化功能器件为基础的新型微电子学。包括半导体纳米电子学、超导体纳米电子学、纳米光电子学以及混合纳米电子学。其器件尺寸将小于电子平均自由程，即小于电子的德布罗意波长，器件的行为将表现出强烈的波动性，故有时亦称“电子波电子学”。主要研究器件的量子效应和电子运动过程，特别是尺寸效应以及新物理现象；新型电路和系统设计；新型器件结构以及超微细加工技术，包括原子植入与移走的纳米器件加工技术。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 集成电路技术 |
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