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词条 钽靶材
释义
钽靶材
钽靶材  用高纯钽制成的、用于制备钽薄膜电极的溅射靶材。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 有色金属材料
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更新时间:2025/5/9 16:53:05