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词条 任意衬底上硅技术
释义
任意衬底上硅技术
任意衬底上硅技术  英语缩写SOA。利用智能剥离等技术将硅转移到任何衬底上的技术。可先将器件制备在硅或绝缘体上硅衬底上,再将这些器件转移到玻璃或其他衬底上,这些衬底又可集成感应器和滤波器等器件。这种技术可应用到通信技术中的射频收发器,这个系统包括大量的器件,如感应器、滤波器、电容和电阻等,其中感应器和滤波器较大较难集成,因硅衬底会降低其性能。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/3/13 20:41:59