“低介电常数材料”的意思、由来-百科全书

词条	低介电常数材料
释义	低介电常数材料材料科学卷低介电常数材料　　应用于集成电路互连的材料。介电常数在1～3之间。热稳定性好，适于工艺加工。主要包括掺氟的石英玻璃、多孔物质、掺氟的聚合物、无机有机混合物、多孔聚合物等。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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