出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 宽带隙半导体材料
| 词条 | 低压法 |
| 释义 | 低压法 低压法 全称“低压气相沉积法”。在低压、高温条件下，由含碳气体沉积成金刚石的方法。不需要复杂的高压高温设备，费用低。最有成效的是用化学气相沉积法生长金刚石薄膜。金刚石在亚稳态形成，采用外延法生长金刚石。化学气相法和物理气相沉积法所能生产的是多晶金刚石薄膜。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 宽带隙半导体材料 |
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