出处：材料科学卷 • 无机非金属材料 • 结构陶瓷
| 词条 | 陶瓷基板 |
| 释义 | 陶瓷基板 陶瓷基板 采用特定组成陶瓷材料制备的基板材料。具有优良的电学、力学、热学特性，满足低频、射频和微波器件组装技术要求。根据制备工艺分高温共烧和低温共烧两种。前者主要包括三氧化二铝、氧化铍、碳化硅和氮化铝基板等，以氮化铝和三氧化二铝应用最广，但烧结温度和成本较高。后者是通过在陶瓷体系中加入玻璃相，在较低温度下通过液相烧结得到的基板。以氧化镁、二氧化硅或氧化钙与三氧化二铝共烧得到的基板应用最广。广泛用于半导体线路连接、通电、保护和冷却等封装工艺中。 出处：材料科学卷 • 无机非金属材料 • 结构陶瓷 |
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