“工艺致应变”的意思、由来-百科全书

词条	工艺致应变
释义	工艺致应变材料科学卷工艺致应变　　在晶体管的沟道区内通过“局部”膜层引入的应变。一般是单轴应变。主要工艺包括源/漏工程、应力帽层技术、应力记忆技术等。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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