“隔离墙”的意思、由来-百科全书

词条	隔离墙
释义	隔离墙信息科学卷隔离墙　　亦称“侧墙”。在晶体管的栅极制备中，栅电极两边形成的起隔离作用的氧化层。其制备工艺称“隔离墙工艺”或“侧墙工艺”。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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