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隔离墙
释义
隔离墙
信息科学卷
隔离墙
亦称“侧墙”。在晶体管的栅极制备中,栅电极两边形成的起隔离作用的氧化层。其制备工艺称“隔离墙工艺”或“侧墙工艺”。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/6/15 8:12:14