出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
| 词条 | 低温磷化铟缓冲层 |
| 释义 | 低温磷化铟缓冲层 低温磷化铟缓冲层 磷化铟/砷化镓异质外延的方案之一。采用低温磷化铟作连接磷化铟和砷化镓失配晶格的缓冲层，不仅能有效释放砷化镓衬底与磷化铟外延层间的失配应力，避免选用第13-第15族三元系或四元系材料充当缓冲层而必须的组分精确控制，方案简单，而且缓冲层可以长得很薄。是磷化铟/砷化镓异质外延解决“异系异质兼容”矛盾、实现单片光电子集成的最有效途径之一。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料 |
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