出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 绝缘体上碳化硅材料 |
| 释义 | 绝缘体上碳化硅材料 绝缘体上碳化硅材料 英语缩写SiCOI。由绝缘衬底和碳化硅组成的硅基半导体材料。结合了绝缘体上硅和碳化硅的优点。碳化硅是性能优异的宽禁带半导体材料，适用于高温高功率器件，同时也是蓝紫光发光材料。有两种制备方法：（1） 在二氧化硅上直接制备碳化硅，即在二氧化硅片上淀积一层非晶硅，退火使其成为多晶硅，再将碳离子注入多晶硅层形成多晶碳化硅；（2） 采用氢离子注入导致碳化硅的智能剥离的方法。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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