出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 绝缘埋层 |
| 释义 | 绝缘埋层 绝缘埋层 三明治结构绝缘体上硅材料的中间绝缘薄层。一般为二氧化硅薄膜，故常称“氧化物埋层”。具有很高的电阻率和击穿场强，是能保证良好电绝缘性的薄膜，三明治结构中绝缘埋层将器件制作层与衬底在电学上隔离开，从而减少衬底对器件性能的影响。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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