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词条 脉冲等离子体化学气相沉积
释义
脉冲等离子体化学气相沉积
脉冲等离子体化学气相沉积  采用低的脉冲直流电源而进行的等离子体化学气相沉积的方法。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/2/8 7:52:06