“常压化学气相沉积”的意思、由来-百科全书

词条	常压化学气相沉积
释义	常压化学气相沉积材料科学卷常压化学气相沉积　　在常压条件下的化学气相沉积方法。反应气体（如硅烷、硼烷和氧）在常压下起化学反应而生成一层固态的生成物沉积于衬底上。其沉积工艺参数易控制，重复性好、宜于批量生产。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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