出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 内氧化-注氧隔离技术 |
| 释义 | 内氧化-注氧隔离技术 内氧化-注氧隔离技术 英语缩写ITOX。经改进的一种注氧隔离新技术。在较低剂量氧注入后继以高温热氧化处理过程。减少了绝缘体上硅顶层硅的位错密度，提高了顶层硅和二氧化硅绝缘埋层的厚度均匀性及表面、界面的平面度，可减少二氧化硅绝缘埋层的针孔密度和金属的沾污等。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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