出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 自对准 |
| 释义 | 自对准 自对准 一种制作金属-氧化物-半导体（MOS）大规模集成电路的重要工艺技术。采用该技术可减小其中金属-氧化物-半导体场效应晶体管（MOSFET）的寄生电容，大大提高工作频率和速度。原理是使栅-源之间或栅-漏之间的重叠部分尽量小，即达到高精度的对准，从而使器件既能够导通，又不会发生高频特性劣化。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 |
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