出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 自掺杂 |
| 释义 | 自掺杂 自掺杂 在外延生长工艺中，来自衬底的掺杂杂质，通过固相扩散和气相输运等方式掺入外延层中的现象。影响外延层中的杂质浓度及其分布，是决定外延层掺杂下限的重要因素之一。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 自掺杂 化学气相外延过程中的一种非有意掺入杂质的现象。在外延过程中，衬底的杂质进入气相，从气相再沉积进入外延层。常发生在衬底烘烤和外延生长过程中，引入的杂质浓度随时间呈指数衰减，由此在衬底与预定参数的外延层之间形成一个过渡层。过渡层过宽会使器件特性变坏，如影响微波器件频率的提高。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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