“非平衡磁控溅射”的意思、由来-百科全书

词条	非平衡磁控溅射
释义	非平衡磁控溅射材料科学卷非平衡磁控溅射　　在阴极的磁场不仅仅局限在靶面附近，还有向靶外发散的杂散磁场，从而把磁场所控制的等离子体范围扩展到基片附近的磁控溅射镀膜方法。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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