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词条 非掺杂半绝缘磷化铟
释义
非掺杂半绝缘磷化铟
非掺杂半绝缘磷化铟  未掺杂铁的半绝缘磷化铟材料。是一种有重要用途的衬底材料。避免掺铁获得的半绝缘磷化铟,因铁的掺入对器件性能的影响。其制备是在真空中,纯磷或磷化铁气氛下,非掺杂液封直拉生长的原生磷化铟经800~900℃长时间退火后成为半绝缘态,从而得到非掺杂半绝缘磷化铟。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
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更新时间:2025/2/8 6:47:49