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词条 非晶态硅
释义
非晶态硅
非晶态硅  具有无定型结构,即其原子排列短程有序而长程无序的硅半导体。是最重要的一种非晶态半导体。可用蒸发、溅射、气相淀积和辉光放电等方法制成,以用硅烷在辉光放电中分解而制成非晶态硅薄膜的方法较为普遍。在硅烷中加入百万分之几的磷烷或硼烷,就可使淀积的非晶态硅掺杂而成为n型或p型半导体,并控制其电阻率。非晶态硅的载流子迁移率比晶态硅低得多,室温时约为0.1厘米2/(伏·秒),其随掺杂浓度的变化并不显著。用非晶态硅制成的pn结,虽然其电学特性比不上晶态硅pn结,但可用来产生光生伏特效应,制造大面积太阳能电池。
出处:数理化力学卷 • 物  理 • 固体物理学
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更新时间:2025/2/12 20:35:02