“非本征吸除”的意思、由来-百科全书

词条	非本征吸除
释义	非本征吸除材料科学卷非本征吸除　　亦称“外吸除”。利用硅片本身以外的因素引起的吸除效应。如采用背面损伤或背面长多晶硅等方法吸除硅片有害杂质以获得表面洁净区。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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