出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 流态化床法多晶硅 |
| 释义 | 流态化床法多晶硅 流态化床法多晶硅 流态化床法生产的多晶硅材料。是将提纯后的硅烷（或三氯甲硅烷）和氢气一同送入已经加热到575～685℃的流化床炉，硅烷（或三氯甲硅烷）受热分解（或还原），硅沉积在床内的微粒硅上，当微粒硅逐渐长大到700微米左右时开始沉降，成为粒状多晶硅。然后再在1020～1200℃热处理炉里加热除氢，降低硅中的氢含量。流态化床法的主要优点是：可以连续生产，单位产品电耗低，生产率高。但因在粒状多晶硅中存在细小的多晶硅微尘。粒状多晶硅表面积大，容易沾污。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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