出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术
| 词条 | 冷热探针法 |
| 释义 | 冷热探针法 冷热探针法 检验半导体材料导电类型的方法之一。利用温差电效应的原理，将两根温度不同的探针与半导体材料表面接触，两探针间外接检流计（或数字电压表）形成一闭合回路，根据两个接触点处存在温差所引起的温差电流（或温差电压）的方向可以确定导电类型。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术 |
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