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词条 浮体效应
释义
浮体效应
浮体效应  厚膜部分耗尽绝缘体上硅器件。由于氧化埋层的隔离作用,处于电学浮空状态,这种浮体结构给器件特性带来的影响。是由顶层硅膜厚度大于器件开启后的最大耗尽层宽度,硅膜耗尽层下方存在一块中性区域引起。最主要的表现是当漏电压高于某值时,器件的输出特性曲线出现上翘的现象(称“翘曲效应”)。而对于薄膜全耗尽绝缘体上硅器件,硅膜厚度小于最大耗尽层宽度,当器件开启时,硅膜可全部耗尽,这种效应并不明显。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/2/12 19:37:17