出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
| 词条 | 分子层外延 |
| 释义 | 分子层外延 分子层外延 气体分子在衬底材料表面进行的外延生长方法。将含有化合物半导体组元的气体分子，单独交替地引入到生长室，在准分子激光或紫外线同步辐照下，加速衬底表面被吸附分子的化学分解与表面迁移，促进薄膜晶体生长。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料 |
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