“浸没式光刻”的意思、由来-百科全书

词条	浸没式光刻
释义	浸没式光刻信息科学卷浸没式光刻　　将某种液体充满投影物镜最后一个透镜的下表面与硅片之间，通过改变折射率来增加系统的数值孔径的光刻技术。可以将光刻的特征尺寸从193纳米减小到45纳米以下，大大提高其分辨率。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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