出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
| 词条 | 异质外延 |
| 释义 | 异质外延 异质外延 外延层与衬底属于异种材料的外延。由于薄膜与衬底属于不同材料，其点阵常数不可能完全相等，会导致两种情况：一是薄膜与衬底点阵常数差别不大时，界面两侧的晶体点阵将出现应变；二是点阵常数差别较大时，界面上将出现平行于界面的刃型位错。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术 异质外延 衬底和外延层是不同种材料的外延。外延层与衬底在化学组成上（如锗/硅，磷化镓/硅）不同，且往往在结晶学上（如在蓝宝石上外延氮化镓）与衬底材料也不同。另外还有一类异质外延，因它们外延层与衬底之间存在着某些化学共性，外延层与衬底的结晶结构一般式相同，如磷化镓/砷化镓或锑化镓/砷化镓，称“赝异质外延”或“准异质外延”。但是在实际使用中并不分得这么细，常都称为“异质外延”。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料 |
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