出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
| 词条 | 液相外延 |
| 释义 | 液相外延 液相外延 英语缩写LPE。在一定取向单晶衬底上，通过降温，使溶质从过饱和溶液中析出生长薄层单晶材料的技术。生长驱动力是溶液中溶质的过饱和度，其动力学过程为溶质扩散，对流输运到生长界面，并在衬底表面上吸附、反应、迁移、成核。生长设备简单，生长速率较高。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料 |
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