“深宽比”的意思、由来-百科全书

词条	深宽比
释义	深宽比信息科学卷深宽比　　硅片上通孔深度与宽度的比值。芯片上的半导体元件的密度越来越大，需要通过提高刻蚀工艺，获得高深宽比结构。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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