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词条 溅射清洗
释义
溅射清洗
溅射清洗  在气相沉积时,利用离子轰击溅射作用,对经预处理的工件表面进行进一步清洁处理的过程。
出处:材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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更新时间:2025/2/12 20:45:59