“溅射靶材”的意思、由来-百科全书

词条	溅射靶材
释义	溅射靶材材料科学卷溅射靶材　　溅射仪的关键部件之一。一般为纯金属、合金或其他导电材料，其成分和所沉积薄膜的成分很接近。通过更换溅射靶材，可在同一溅射仪上制备不同成分的薄膜。如果溅射仪配备射频电源，也可采用不导电材料作溅射靶材。应有好的导热性能并得到良好的冷却。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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