“微机电系统”的意思、由来-百科全书

词条	微机电系统
释义	微机电系统信息科学卷微机电系统　　可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。特征尺寸一般为微米量级。用于电子工业、医学、汽车等领域。出处：信息科学卷 • 微电子 • 集成电路技术
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