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| 词条 | 微细加工 |
| 释义 | 微细加工 微细加工 制造微小尺寸零件或薄膜图形的方法的总称。加工尺度从微米到纳米量级,而加工单位则从微米到原子或分子线度量级。有分离、接合和变形三种形式。广泛应用于大规模和超大规模集成电路、特种新颖器件、电子元器件及精密机械零件的加工制造。 出处：机械电气卷 • 机械工程 • 机械制造 • 机械制造工艺 |
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