出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 高介电常数材料 |
| 释义 | 高介电常数材料 高介电常数材料 一种可取代二氧化硅作为栅介质的材料。能解决超薄二氧化硅栅介质随集成电路工艺最小特征尺寸按比例缩小，栅介质厚度也按比例缩小而出现的重复性、可靠性以及阻挡硼扩散能力降低等问题。增加介电常数可增加等效氧化物的厚度。如氧化铪、氧化钽/二氧化硅、氧化钛/氮化硅等，绝缘性良好，同时可在栅和硅底层通道之间产生较高的场效应，可以大幅度减少漏电量。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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