出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料
| 词条 | 化学束外延 |
| 释义 | 化学束外延 化学束外延 分子束外延和金属有机物化学气相沉积相结合的外延生长方法。与分子束外延的主要不同是用气态源取代分子束外延的固态源。在其技术发展初期，曾预计该项技术不仅会具有分子束外延的各种优点，且由于采用气态源，可使生长室长期保持在高真空和连续工作状态；用质量流量计控制气源流量，具有精确、稳定、响应快以及重复性好等优点。但由于设备成本高，发展受限。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 砷化镓和磷化铟基化合物半导体材料 |
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